[发明专利]输送系统的输送位置对准方法无效

专利信息
申请号: 200780011390.0 申请日: 2007-12-19
公开(公告)号: CN101410226A 公开(公告)日: 2009-04-15
发明(设计)人: 木村延树 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: B25J9/22 分类号: B25J9/22;H01L21/68
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种输送系统的输送位置对准方法,不管输送系统的构成组件的安装情况,都能高效率地进行精度很高的输送位置对准。其进行以下工序:求出通过输送路径(X23、X24)在定向器(320)和第2处理室(220B)之间输送虚设晶圆(Wd)时的、与第2处理室的输送位置的可进行位置偏移校正的方向相对应的定向器的输送位置的可进行位置偏移校正的方向,由此得到位置偏移校正用坐标系的工序、使通过基准输送路径(X21、X22)从定向器输送到第2处理室的虚设晶圆从第2处理室通过输送路径(X23、X24)返回到定向器而对输送前后的虚设晶圆的位置偏移进行检测的工序、基于位置偏移校正用坐标系,对经由输送路径(X23、X24)的第2处理室的输送位置进行校正,以消除检测到的位置偏移的工序。
搜索关键词: 输送 系统 位置 对准 方法
【主权项】:
1.一种输送系统的输送位置对准方法,该输送系统具有对被输送物的位置偏移进行检测的位置对准机构和可搬入上述被输送物的组件,通过多个输送路径能将上述被输送物输送到上述位置对准机构和上述组件的规定输送位置上,其中以上述多个输送路径之一作为基准输送路径时,该输送位置对准方法用于使经由其他输送路径的输送位置与上述组件中的经由上述基准输送路径的输送位置对准,其特征在于,包括以下工序:使从上述位置对准机构通过上述基准输送路径输送到上述组件的位置对准用被输送物通过上述其他输送路径从上述组件返回到上述位置对准机构,对输送前后的上述位置对准用被输送物的位置偏移进行检测的工序、将从上述组件的输送位置沿可以进行位置偏移校正的方向错开规定错开量的位置对准用被输送物通过上述其他输送路径从上述组件输送到上述位置对准机构而对上述位置对准用被输送物的位置偏移进行检测,还改变上述错开量并重复多次上述位置偏移检测,基于由此得到的多个位置偏移的检测结果,求出与上述组件的输送位置的可进行位置偏移校正的方向相对应的上述位置对准机构的输送位置的位置偏移方向,从而算出上述位置偏移校正用座标系的工序、以及基于上述位置偏移校正用座标系,对经由上述其他输送路径的上述组件的输送位置进行校正,以消除上述检测到的位置偏移的工序。
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  • 杨辰光;陈垂泽 - 华南理工大学;常州普旺科技有限公司
  • 2018-02-08 - 2018-09-21 - B25J9/22
  • 本实用新型提供一种基于动作融合的机器人示教系统,主要由机械臂,计算机主机,肌电信号传感器,动作捕捉模块,摄像机,增强现实设备和麦克风组成。动作捕捉模块在操作者示教时,负责捕捉其手臂动作和手势,并转化为控制机械臂的指令。机械臂运动情况由摄像机捕捉,并通过增强现实设备将图像呈现给操作者,为操作者提供具有临场感的立体视觉反馈。肌电信号传感器负责采集操作者手臂的表面肌电信号,本实用新型可以从肌电信号中提取操作者的疲劳度,用于多组示教动作的加权融合,增强了示教动作的稳定度。融合后的示教动作经过操作者的语音命令命名,存储在运动原语存储库中,实现了示教动作的复用,进一步提高了整体示教过程的效率。
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