[发明专利]显示装置用Al合金膜、显示装置以及溅射靶材有效
| 申请号： | 200780044289.5 | 申请日： | 2007-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101542696A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 后藤裕史;富久胜文;日野绫;奥野博行;中井淳一;川上信之;越智元隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | H01L21/3205 | 分类号： | H01L21/3205;C23C14/14;C23C14/34;H01L21/285;H01L23/52;H01L29/786 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供显示装置用Al合金膜、使用该Al合金膜的显示装置及显示装置用的溅射靶材，所述显示装置用Al合金膜在基板上与导电性氧化膜直接连接，Al合金膜含有Ge 0.05～0.5原子％，含有Gd及/或La合计为0.05～0.45原子％。本发明的Al合金膜未设置阻挡金属，即使使导电性氧化膜和Al合金膜直接连接，导电性氧化膜和Al合金膜之间的粘接性也很高、接触电阻率低，优选干法刻蚀性能优异。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 al 合金 以及 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种显示装置用Al合金膜，其为在基板上与导电性氧化膜直接连接的显示装置用Al合金膜，所述Al合金膜含有0.05～0.5原子％Ge，且以合计0.05～0.45原子％的量含有Gd及/或La。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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