[发明专利]一种准分子激光器腔体光路的准直调谐方法无效
| 申请号： | 201010300508.5 | 申请日： | 2010-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101794960A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 连贵君 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01S3/105 | 分类号： | H01S3/105;H01S3/225 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种调谐准分子激光器腔体光路准直的方法，属于准分子激光器设备技术领域。该方法采用一带有光源和十字图形的调光靶，将调光靶置于准分子激光器的前反射镜一端，分别调整准分子激光器腔体前、后两个反射镜位置，使所述调光靶的十字图形在腔体前、后两个反射镜的成像相互重合及其衍射像对称，从而实现准分子激光器腔体光路准直。本发明操作简单，不需要占用准分子激光器空间，且调谐后的激光器腔体光路可达到最高能量值，不必再用能量标准进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 器腔体光路 调谐 方法 | ||
【主权项】：
一种准分子激光器腔体光路的准直调谐方法，其特征在于，采用一带有光源和十字图形的调光靶，将调光靶置于准分子激光器的前反射镜一端，分别调整准分子激光器腔体前、后两个反射镜位置，使所述调光靶的十字图形在腔体前、后两个反射镜的成像相互重合及其衍射像对称，从而实现准分子激光器腔体光路准直。
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