[发明专利]用于径向调整衬底的表面上的温度轮廓的静电夹具系统及方法

摘要

公开了一种用于维持衬底的表面上期望的温度轮廓的静电夹具系统。静电夹具系统包括：基座支撑件，其限定基座支撑件表面上基本均匀的温度轮廓；以及静电夹具，其由基座支撑件支撑。静电夹具具有夹持电极和多个独立控制的加热电极。独立控制的加热电极包括由间隙距离隔开的内加热电极和外加热电极，其中，内加热电极限定内加热区，外加热电极限定外加热区。通过改变基座温度区、内加热区、外加热区的热特性，或者通过改变内加热电极与外加热电极之间的间隙距离的大小，可调整衬底的表面上的温度轮廓。

主权项

一种用于调节衬底的表面上的温度轮廓的系统，包括：基座支撑件，其包括适合于提供基座温度区的基座热控制系统，所述基座温度区限定所述基座支撑件的表面上基本均匀的温度轮廓，所述基座温度区具有基于所述基座热控制系统的输出的热特性；静电夹具，其由所述基座支撑件支撑，所述静电夹具包括夹持电极和多个加热电极，所述加热电极包括由间隙距离隔开的内加热电极和外加热电极，所述内加热电极限定内加热区，所述内加热区具有基于所述内加热电极的输出的热特性，所述外加热电极限定外加热区，所述外加热区具有基于所述外加热电极的输出的热特性；以及控制系统，其适合于通过改变所述基座热控制系统、内加热电极或外加热电极的所述输出中的至少一个来调节所述衬底的所述表面上的温度轮廓。