[发明专利]石英坩埚涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201110198592.9 | 申请日： | 2011-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN102260902A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 徐昌华;吴洁;张安;秦舒;史才成 | 申请（专利权）人： | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C09D1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 223700 江苏省宿迁*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石英坩埚涂层的制备方法，包括：a)配置氢氧化钡溶液，所述氢氧化钡溶液中氢氧化钡与水的重量比为1∶(46～52)；b)将石英坩埚加热至200℃以上，将所述氢氧化钡溶液均匀喷涂于所述石英坩埚的内壁和上口，喷涂后所述石英坩埚内壁和上口表面形成氢氧化钡涂层。按照上述方法在坩埚表面形成的氢氧化钡会与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡，当此种石英坩埚在单晶炉上被加热时，碳酸钡会分解形成氧化钡，氧化钡又会与石英坩埚反应形成硅酸钡，硅酸钡层对石英坩埚起到保护作用，防止单晶硅高温拉制过程中与石英坩埚反应，改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率；此外，其还能增加石英刚坩埚的强度，减少高温软化现象。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种石英坩埚涂层的制备方法，包括：a)、配置氢氧化钡溶液，所述氢氧化钡溶液中氢氧化钡与水的重量比为1∶(46～52)；b)、将石英坩埚加热至200℃以上，将所述氢氧化钡溶液均匀喷涂于所述石英坩埚的内壁和上口，喷涂后所述石英坩埚内壁和上口表面形成氢氧化钡涂层。
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