[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷电路板的制造方法有效
| 申请号： | 201110391729.2 | 申请日： | 2007-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102393605A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 宫坂昌宏;村松有纪子;南川华子 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/028;G03F7/09;G03F7/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明为感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷电路板的制造方法。本发明的感光性树脂组合物含有：(A)具有下述通式(Ⅰ)表示的二价基团和下述通式(Ⅱ)表示的二价基团和下述通式(Ⅲ)表示的二价基团和下述通式(Ⅳ)表示的二价基团、且重均分子量为20000～50000的粘合剂聚合物，(B)光聚合性化合物，以及(C)光聚合引发剂， |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 图案 形成 方法 以及 印刷 电路板 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其含有：(A)具有下述通式(Ⅰ)表示的二价基团和下述通式(Ⅱ)表示的二价基团和下述通式(Ⅲ)表示的二价基团和下述通式(Ⅳ)表示的二价基团、且重均分子量为20000～50000的粘合剂聚合物，(B)光聚合性化合物，以及(C)光聚合引发剂，![]()
式(Ⅰ)、式(Ⅱ)、式(Ⅲ)及式(Ⅳ)中，R1、R3、R5及R6分别独立地表示氢原子或甲基，R2及R4分别独立地表示碳原子数1～3的烷基、碳原子数1～3的烷氧基、羟基或卤原子，R7表示碳原子数1～6的烷基，m或n分别独立地表示0～5的整数，m或n为2～5时，多个R2或R4相互可以相同或不同。
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[式(A‑I)中，X表示氮原子或CH，R41表示氢原子或碳原子数1～4的烷基，R42表示氢原子、氰基、氨基甲酰基等，R43表示氧原子、C(CN)2等，R44～R46分别独立地表示氢原子、可以被氨基或卤原子取代的碳原子数1～20的烷基等。]。
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其中R1为H或CH3，R2为C2～C4的亚烷基，n为2～40的整数，A为H或
第一光反应单体(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物(lactic oligomer)及2个以上的不饱和丙烯酸酯系官能基，以粘合剂的固含量为100重量份为基准，第一光反应单体约为25～95重量份。光引发剂以粘合剂的固含量为100重量份为基准，光引发剂约为0.5～15重量份。
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- 宫坂昌宏;熊木尚 - 日立化成株式会社
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- 本发明涉及感光性树脂组合物，感光性元件，光致抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(A)重均分子量40000～80000的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、及(C1)下述通式(1)所表示的化合物：[化1]
式(1)中，R至少1个表示碳数1～10的烷氧基、或碳数1～12的烷基，a、b及c的总和为1～6，a、b及c的总和为2～6时，而同一分子中的复数的各个R可相同或不同。
- 一种基于有机聚合物的纳米图案的制备及快速光调控方法-201610396655.4
- 于海峰;王添洁 - 北京大学
- 2016-06-07 - 2016-10-26 - G03F7/033
- 本发明公开了一种基于有机聚合物的纳米图案的制备及快速光调控方法。利用具有可光致异构化性质的嵌段共聚物，先通过自组装形成精确结构的纳米图案，然后通过紫外光或者特定波长光辐照等手段，使嵌段共聚物的光响应官能团发生光致异构，并带动纳米相分离结构发生快速的改变，得到稳定、精确排布的纳米图案，实现精确纳米图案的可控化。该方法具有可快速调控、精确、可逆等特征，在光学、微电子学、物理学、化学、材料学等诸多领域都拥有非常广泛的应用前景。
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