[发明专利]用于原位透射电子显微镜的深亚微米器件样品及制备方法

摘要

本发明公开了一种用于原位透射电子显微镜的深亚微米器件样品制备方法，采用聚焦离子束系统，利用电磁透镜将离子束聚焦成非常小尺寸而进行显微切割或研磨等加工，能够精确定位制样，获取深亚微米器件。采用聚焦离子束对样品进行切割、减薄，相对于传统聚焦离子束最终减薄样品采用相对样品台倾斜的52度倾斜±（0.5度-1.5度），创造性的使用相对样品台倾斜的52度倾斜±7度。本发明还提供一种用于原位透射电子显微镜的深亚微米器件样品，所述样品包括多个、分立、形状规则、宽度小于20纳米、厚度小于100纳米的器件，适用于原位透射电子显微镜研究，对研究深亚微米器件性能具有重大意义。

主权项

一种用于原位透射电子显微镜的深亚微米器件样品制备方法，其特征在于包括如下步骤： （1）将样品台倾斜，在块状样品制作透射电子显微镜样品的部位沉积铂保护层作为薄片样品的加工区域，然后用离子束将薄片样品的底部和侧面切断，实现U形切断； （2）样品台倾斜角度归零，插入纳米级别位移可控机械操控臂，机械操控臂针尖位置处于与扫描电镜的共心高度位置； （3）插入铂离子气源探针； （4）将机械操控臂的尖端与薄片样品自由端用铂沉积固定； （5）将薄片样品与块状样品的固定悬臂切断，提取薄片样品，退出机械操控臂和铂离子气源探头； （6）放入聚焦离子束制样专用铜网； （7）将铜网的最高处调至扫描电镜共心高度位置，铜网的倾斜角度归零；依次插入机械操控臂和铂离子气源探头，将薄片样品固定在铜网上；然后将机械操控臂与样品的连接部分切断，退出铂离子气源探头和机械操控臂； （8）薄片样品调至扫描电镜共心高度，薄片样品相对样品台倾斜52度倾斜±7度，减薄薄片样品到最终厚度。