[发明专利]立式热处理装置和热处理方法

摘要

本发明提供立式热处理装置和热处理方法。一种立式热处理装置，其用于将呈搁板状保持有多张基板的基板保持件输入到被加热机构包围的立式的反应管内并进行热处理，其中，该立式热处理装置包括：气体喷嘴，其以沿所述基板保持件的铅垂方向延伸的方式设于所述反应管内，用于喷射处理气体；以及流路形成构件，其以包围所述气体喷嘴的方式设于所述反应管内，该流路形成构件形成用于对所述气体喷嘴内的处理气体进行调温的调温流体的流通空间并具有调温流体的供给口和排出口。

主权项

1.一种立式热处理装置，其用于将呈搁板状保持有多张基板的基板保持件输入到被加热机构包围的立式的反应管内并进行热处理，其中，该立式热处理装置包括：气体喷嘴，其以沿所述基板保持件的铅垂方向延伸的方式设于所述反应管内，用于喷射处理气体；以及流路形成构件，其以包围所述气体喷嘴的方式设于所述反应管内，该流路形成构件形成用于对所述气体喷嘴内的所述处理气体进行调温的调温流体的流通空间并具有所述调温流体的供给口和排出口，其中，所述处理气体是成膜用的原料气体，其中，所述调温流体是用于冷却所述处理气体的冷却用的流体，其中，所述加热机构由用于分别对所述反应管内的沿纵向排列的多个区域进行加热的多个加热部构成，该立式热处理装置还包括控制部，该控制部输出控制信号，以便在完成将所述基板保持件输入到所述反应管内之后，使所述多个区域中的、所述反应管的底部区域的温度成为比相对于该底部区域位于上方侧的区域的温度高且为所述处理气体的热分解温度以上的第1温度，另外，该控制部输出控制信号，以便利用所述调温流体的流通来使所述气体喷嘴内的所述处理气体的温度低于所述处理气体的热分解温度。