[发明专利]一种蒸镀坩埚

摘要

本发明公开了一种蒸镀坩埚，属于OLED制备技术领域。蒸镀坩埚包括坩埚本体和导热部件；导热部件设置在坩埚本体内部，导热部件用于将坩埚本体上的热量直接传递到位于坩埚本体中部的蒸镀材料中。本发明通过在坩埚本体内部设置导热部件，通过导热部件将坩埚本体的热量直接传递至位于坩埚本体中部的蒸镀材料中，减小位于坩埚本体中部的蒸镀材料和靠近坩埚本体内壁的蒸镀材料的温度差异，避免位于坩埚本体中部的蒸镀材料发生剩余而结块存留在坩埚本体内，提高蒸镀材料的利用率，且保证坩埚本体内的蒸镀材料整体的蒸镀速率稳定，保证蒸镀成膜的效果，从而保证器件的性能，也保证位于坩埚本体中部的蒸镀材料的性能。

主权项

一种蒸镀坩埚，其特征在于：所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、防爆沸金属片和导热部件；所述导热部件设置在所述坩埚本体内部，所述导热部件用于将所述坩埚本体上的热量直接传递到位于所述坩埚本体中部的蒸镀材料中；所述防爆沸金属片设置在所述坩埚本体内部，且位于所述导热部件的上方；所述导热部件为导热箅子，所述导热箅子由导热体构成，且所述导热体上分布有多个通孔；所述导热箅子的通孔的大小大于所述坩埚本体的防爆沸金属片的通孔的大小；所述导热箅子平行或近似平行于所述坩埚本体底面，且所述坩埚本体的轴线与所述导热箅子的轴线之间的距离不超过1毫米；且所述导热箅子的导热体按照所述导热箅子由外至内的方向由疏至密。