[发明专利]气凝胶包囊式影像传感器及其制造方法

摘要

气凝胶包囊式影像传感器包括装置晶粒及气凝胶层，该装置晶粒具有被制造于其上的影像传感器，以及气凝胶层包囊该影像传感器。用于包囊被形成于传感器数组片上的各个裸露影像传感器的影像传感器像素数组的方法可包括：在各影像传感器像素数组上注射未硬化的气凝胶部分，及硬化各未硬化的气凝胶部分。该硬化步骤可包括(a)超临界干燥，(b)表面改性干燥，及(c)针孔干燥未硬化的气凝胶部分中的至少一个。该方法可进一步包括切单片传感器数组片为多个气凝胶包囊式影像传感器。用于包囊在装置晶圆上的各个裸露影像传感器的影像传感器像素数组的方法可包括，形成气凝胶层于各裸露影像传感器上。该形成步骤可包括旋涂，浸涂，及喷涂气凝胶层于裸露影像传感器上的其中至少一个。

主权项

1.一种气凝胶包囊式影像传感器，其包括：装置晶粒，具有包括形成像素数组的多个像素的影像传感器；以及气凝胶层，其包囊所述影像传感器，使得所述像素数组在所述装置晶粒的底部表面和所述气凝胶层之间；以及包括多个微透镜的微透镜数组，各微透镜与所述多个像素的相应一个对齐，所述微透镜数组在所述像素数组和(a)位于所述像素数组正上方且(b)具有顶部外表面的所述气凝胶层的区域之间，所述顶部外表面是所述气凝胶包囊式影像传感器的顶部外表面的部分；所述气凝胶层具有包括底部表面区域的底部表面，所述底部表面区域与顶部表面区域相对并与所述影像传感器直接接触。