[发明专利]由载体基板与树脂层构成的工件的分离方法以及分离装置

摘要

本发明提供一种由载体基板与树脂层构成的分离装置以及分离方法，其能够以不使成为最终产品的树脂层破损等且使树脂层的之后的操作变得容易的方式将载体基板与树脂层分离。本发明的分离方法具备：保护工序(S2)，通过保护膜覆盖树脂层的表面；吸附保持工序(S8)，将被保护膜覆盖的树脂层吸附于具有平坦的吸附面的吸附台；以及剥离工序(S10)，在将载体基板的一端侧的背面支承于能够从载体基板的一端向另一端移动的支承辊后，一边使支承辊朝向另一端移动一边使载体基板的一端下降，由此使载体基板在被支承辊所支承的部分处弯曲并从树脂层剥落。

主权项

一种分离方法，将由具有一端以及与该一端对置的另一端的矩形状的载体基板、形成在该载体基板的表面上的大致矩形状的树脂层构成的工件分离成所述载体基板与所述树脂层，其特征在于，具备：保护工序，通过保护膜覆盖所述树脂层的表面；吸附保持工序，将被所述保护膜覆盖的所述树脂层吸附于具有平坦的吸附面的吸附台；支承工序，将所述载体基板的所述一端侧的背面支承于能够从所述载体基板的所述一端朝向所述另一端移动的支承辊；以及剥离工序，一边使所述支承辊朝向所述另一端移动一边使所述载体基板的所述一端下降，从而使所述载体基板在被所述支承辊支承的部分处弯曲并从所述树脂层剥落。