[发明专利]一种旋转靶材热喷涂系统及方法有效

专利信息
申请号: 201710841050.6 申请日: 2017-09-18
公开(公告)号: CN107893209B 公开(公告)日: 2023-09-26
发明(设计)人: 郑成添;刘剑辉;潘国飞;区汉初;李志刚 申请(专利权)人: 佛山先进表面技术有限公司
主分类号: C23C4/137 分类号: C23C4/137;C23C14/34
代理公司: 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 代理人: 谭健洪;莫瑶江
地址: 528244 广东省佛山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种旋转靶材热喷涂系统,包括密封喷涂仓,密封喷涂仓内设置有工件旋转机构和喷枪操作机构,喷枪操作机构设置于工件旋转机构下方;还包括除尘器、风机、换热装置,除尘器连接于密封喷涂仓的出风口,风机连接除尘器的出风口,密封喷涂仓、除尘器、风机通过通风管路形成一闭合回路,换热装置设置于通风管路上,通风管路贯穿换热装置;还包括真空泵与氮气进气口,真空泵与氮气进气口分别通过管道连通密封喷涂仓。该系统设计简明高效,涂层氧化物含量低,对粉尘处理彻底,无环境污染,设备制作简单,具有良好的处理加工效果及经济效益。
搜索关键词: 一种 旋转 靶材热 喷涂 系统 方法
【主权项】:
一种旋转靶材热喷涂系统,其特征在于:包括密封喷涂仓,所述密封喷涂仓内设置有工件旋转机构和喷枪操作机构,所述喷枪操作机构设置于所述工件旋转机构下方;还包括除尘器、风机、换热装置,所述除尘器连接于密封喷涂仓的出风口,所述风机连接除尘器的出风口,所述密封喷涂仓、除尘器、风机通过通风管路形成一闭合回路,所述换热装置设置于通风管路上,所述通风管路贯穿所述换热装置;还包括真空泵与氮气进气口,所述真空泵与氮气进气口分别通过管道连通所述密封喷涂仓,所述真空泵的连通管道上设置有第一电动蝶阀,所述氮气进气口处设置有第二电动蝶阀,所述密封喷涂仓出风口与除尘器之间设置有第三电动蝶阀。
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