[发明专利]多用途灯丝气体离子源装置有效
| 申请号： | 201711455918.5 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108172490B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 苏东艺;彭继华 | 申请（专利权）人： | 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄华莲;郝传鑫 |
| 地址： | 510070 广东省广州市经济技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种多用途灯丝气体离子源装置，包括第一离化腔室，第一离化腔室的一端设有第一进气口且第一离化腔室的另一端上设有第一逸出口，第一离化腔室的外侧壁上缠绕有第一线圈，第一离化腔室内设有灯丝组件，灯丝组件包括相对设置的灯丝和反射极板，反射极板位于灯丝和第一逸出口的中心线之间，灯丝和反射极之间为并联连接。本发明通过缠绕在第一离化腔室外的第一线圈以及与灯丝相对设置的反射极板，提高了气体离化效率，同时从灯丝发射出来的杂质原子会被反射极板和第一离化腔室捕获，避免杂质原子污染被加工工件。 | ||
| 搜索关键词： | 离化 灯丝 腔室 极板 反射 气体离子源装置 灯丝组件 相对设置 杂质原子 缠绕 进气口 被加工工件 离子源设备 并联连接 反射极 外侧壁 捕获 出口 室外 室内 发射 污染 | ||
【主权项】：
1.一种多用途灯丝气体离子源装置，其特征在于，包括第一离化腔室和第二离化腔室，所述第一离化腔室的一端设有第一进气口且所述第一离化腔室的另一端设有第一逸出口，所述第一离化腔室的外侧壁上缠绕有第一线圈，所述第一离化腔室内设有灯丝组件，所述灯丝组件包括相对设置的灯丝和反射极板，所述反射极板位于所述灯丝和第一逸出口的中心线之间，所述灯丝和反射极板之间为并联连接；所述第二离化腔室的一端与所述第一逸出口连通，所述第二离化腔室的另一端设有第二逸出口，所述第二离化腔室的外侧壁上缠绕有第二线圈。/n
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