[实用新型]改进型离子源发生装置有效
申请号: | 201720795905.1 | 申请日: | 2017-07-04 |
公开(公告)号: | CN206877966U | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
发明(设计)人: | 孟路燕;池超贤 | 申请(专利权)人: | 东华理工大学 |
主分类号: | H01J27/24 | 分类号: | H01J27/24 |
代理公司: | 北京久维律师事务所11582 | 代理人: | 邢江峰 |
地址: | 330000 江西省南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型提供一种结构设计新颖、紧凑、靶体使用率高的改进型离子源发生装置;包括离子源的靶体,靶体安装于靶体槽上;还包括反应源,所述靶体槽前端的A面上设有一凹孔,靶体安装于凹孔内,位于凹孔内的靶体前端与反应源前侧的B面始终保持面接触,所述反应源上设有一穿孔,还包括设置于反应源后侧并相对反应源固定的脉冲激光器,所述脉冲激光器射出的激光束穿过穿孔打在靶体的前端面上;所述靶体槽相对反应源的B面做自转运动,所述反应源相对靶体槽做纵向方向上的上下运动。 | ||
搜索关键词: | 改进型 离子源 发生 装置 | ||
【主权项】:
一种改进型离子源发生装置,包括离子源的靶体,靶体安装于靶体槽上;其特征在于:还包括反应源,所述靶体槽前端的A面上设有一凹孔,靶体安装于凹孔内,位于凹孔内的靶体前端与反应源前侧的B面始终保持面接触,所述反应源上设有一穿孔,还包括设置于反应源后侧并相对反应源固定的脉冲激光器,所述脉冲激光器射出的激光束穿过穿孔打在靶体的前端面上;所述靶体槽相对反应源的B面做自转运动,所述反应源相对靶体槽做纵向方向上的上下运动。
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