[发明专利]沉积金属或金属合金到衬底表面及包括衬底表面活化的方法有效
申请号: | 201780025695.0 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN109072438B | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | C·文德林;L·施坦普;B·多塞;K·武丁格尔;G·克里列斯;T·C·L·恩古叶 | 申请(专利权)人: | 德国艾托特克公司 |
主分类号: | C23C18/20 | 分类号: | C23C18/20;C23C18/30;C23C18/40;C23C18/18;C23C18/24;C23C18/16 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及沉积金属或金属合金到衬底的至少一个表面的方法,所述方法包含以下步骤:(a)提供所述衬底;(b)用活化溶液处理所述衬底的所述表面,所述活化溶液包含至少一种选自由以下组成的群组的金属离子源:钌、铑、钯、锇、铱、铂、铜、银、镍、钴、金和其混合物,使得所述金属离子的至少一部分吸附到所述衬底的所述表面上;(c)利用处理溶液处理从步骤(b)获得的所述衬底的所述表面,所述处理溶液包含i)至少一种独立地选自由以下组成的群组的添加剂:硫醇、硫醚、二硫化物和含硫杂环,和ii)至少一种适于还原吸附于所述衬底的所述表面上的所述金属离子的还原剂,所述还原剂选自由以下组成的群组:基于硼的还原剂、次磷酸根离子的源、肼和肼衍生物、抗坏血酸、异抗坏血酸、甲醛的源、乙醛酸、乙醛酸的源、乙醇酸、甲酸、糖和以上所提到酸的盐;和(d)利用包含溶剂和至少一种待沉积金属离子的源的金属化溶液处理所述衬底的从步骤(c)获得的所述表面,使得金属或金属合金沉积于其上。用于衬底金属化的所述方法主要可用于电子工业中,而且可适用于金属化典型非导电衬底,例如塑料的方法中。所述方法由于其减少总体化学品的所需量而是成本有效的且生态有利的。 | ||
搜索关键词: | 沉积 金属 合金 衬底 表面 包括 活化 方法 | ||
【主权项】:
1.一种沉积金属或金属合金到衬底的至少一个表面上的方法,其包含以下步骤:(a)提供所述衬底;(b)用活化溶液处理所述衬底的所述表面,所述活化溶液包含至少一种选自由以下组成的群组的金属离子源:钌离子的源、铑离子的源、钯离子的源、锇离子的源、铱离子的源、铂离子的源、铜离子的源、银离子的源、镍离子的源、钴离子的源、金离子的源和其混合物,使得所述金属离子的至少一部分吸附到所述衬底的所述表面上;(c)利用处理溶液处理从步骤(b)获得的所述衬底的所述表面,所述处理溶液包含i)至少一种独立选自由以下组成的群组的添加剂:硫醇、硫醚、二硫化物和含硫杂环,和ii)至少一种适于还原吸附于所述衬底的所述表面上的所述金属离子的还原剂,所述还原剂选自由以下组成的群组:基于硼的还原剂、次磷酸根离子的源、肼和肼衍生物、抗坏血酸、异抗坏血酸、甲醛的源、乙醛酸、乙醛酸的源、乙醇酸、甲酸、糖和以上所提到酸的盐;和(d)利用包含溶剂和至少一种待沉积金属离子的源的金属化溶液处理所述衬底的从步骤(c)获得的所述表面,使得金属或金属合金沉积于其上。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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