[发明专利]沉积金属或金属合金到衬底表面及包括衬底表面活化的方法有效

专利信息
申请号: 201780025695.0 申请日: 2017-05-04
公开(公告)号: CN109072438B 公开(公告)日: 2021-08-13
发明(设计)人: C·文德林;L·施坦普;B·多塞;K·武丁格尔;G·克里列斯;T·C·L·恩古叶 申请(专利权)人: 德国艾托特克公司
主分类号: C23C18/20 分类号: C23C18/20;C23C18/30;C23C18/40;C23C18/18;C23C18/24;C23C18/16
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 林斯凯
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及沉积金属或金属合金到衬底的至少一个表面的方法,所述方法包含以下步骤:(a)提供所述衬底;(b)用活化溶液处理所述衬底的所述表面,所述活化溶液包含至少一种选自由以下组成的群组的金属离子源:钌、铑、钯、锇、铱、铂、铜、银、镍、钴、金和其混合物,使得所述金属离子的至少一部分吸附到所述衬底的所述表面上;(c)利用处理溶液处理从步骤(b)获得的所述衬底的所述表面,所述处理溶液包含i)至少一种独立地选自由以下组成的群组的添加剂:硫醇、硫醚、二硫化物和含硫杂环,和ii)至少一种适于还原吸附于所述衬底的所述表面上的所述金属离子的还原剂,所述还原剂选自由以下组成的群组:基于硼的还原剂、次磷酸根离子的源、肼和肼衍生物、抗坏血酸、异抗坏血酸、甲醛的源、乙醛酸、乙醛酸的源、乙醇酸、甲酸、糖和以上所提到酸的盐;和(d)利用包含溶剂和至少一种待沉积金属离子的源的金属化溶液处理所述衬底的从步骤(c)获得的所述表面,使得金属或金属合金沉积于其上。用于衬底金属化的所述方法主要可用于电子工业中,而且可适用于金属化典型非导电衬底,例如塑料的方法中。所述方法由于其减少总体化学品的所需量而是成本有效的且生态有利的。
搜索关键词: 沉积 金属 合金 衬底 表面 包括 活化 方法
【主权项】:
1.一种沉积金属或金属合金到衬底的至少一个表面上的方法,其包含以下步骤:(a)提供所述衬底;(b)用活化溶液处理所述衬底的所述表面,所述活化溶液包含至少一种选自由以下组成的群组的金属离子源:钌离子的源、铑离子的源、钯离子的源、锇离子的源、铱离子的源、铂离子的源、铜离子的源、银离子的源、镍离子的源、钴离子的源、金离子的源和其混合物,使得所述金属离子的至少一部分吸附到所述衬底的所述表面上;(c)利用处理溶液处理从步骤(b)获得的所述衬底的所述表面,所述处理溶液包含i)至少一种独立选自由以下组成的群组的添加剂:硫醇、硫醚、二硫化物和含硫杂环,和ii)至少一种适于还原吸附于所述衬底的所述表面上的所述金属离子的还原剂,所述还原剂选自由以下组成的群组:基于硼的还原剂、次磷酸根离子的源、肼和肼衍生物、抗坏血酸、异抗坏血酸、甲醛的源、乙醛酸、乙醛酸的源、乙醇酸、甲酸、糖和以上所提到酸的盐;和(d)利用包含溶剂和至少一种待沉积金属离子的源的金属化溶液处理所述衬底的从步骤(c)获得的所述表面,使得金属或金属合金沉积于其上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德国艾托特克公司,未经德国艾托特克公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201780025695.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top