[发明专利]用于检查样本的方法、带电粒子束装置和多柱显微镜有效
| 申请号： | 201780074728.0 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN110192263B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 于尔根·弗洛森;彼得·克鲁伊特 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司;代尔夫特理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/153 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于在带电粒子束装置中由初级带电粒子小束阵列检查样本的方法，带电粒子束装置具有光轴。方法包含：产生初级带电粒子束；由初级带电粒子束照射多孔透镜板，以产生初级带电粒子小束阵列；和由第一场弯曲校正电极与第二场弯曲校正电极校正带电粒子束装置的场弯曲。方法进一步包含施加电压至第一场弯曲校正电极与第二场弯曲校正电极。第一场弯曲校正电极与第二场弯曲校正电极提供的场强度的至少一个在正交于带电粒子束装置的光轴的平面中变化。方法进一步包含由物镜将初级带电粒子小束聚焦在样本上的个别位置上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 样本 方法 带电 粒子束 装置 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查样本的方法，在带电粒子束装置中由初级带电粒子小束阵列检查样本，所述带电粒子束装置具有光轴，所述光轴在所述带电粒子束装置的z方向中延伸，所述方法包含以下步骤：由带电粒子束发射器产生初级带电粒子束；由所述初级带电粒子束照射具有表面的多孔透镜板，以产生聚焦的所述初级带电粒子小束阵列；通过至少第一电极在所述多孔透镜板的所述表面上产生电场；其中由所述至少第一电极提供的所述电场的z方向中的场分量为非旋转对称的；和由物镜将所述初级带电粒子小束聚焦在所述样本上的个别位置上，以同时在所述个别位置处检查所述样本。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料以色列公司;代尔夫特理工大学，未经应用材料以色列公司;代尔夫特理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780074728.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
