[发明专利]微机械传感器以及用于制造微机械传感器的方法有效
| 申请号： | 201810696124.6 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109205545B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | E·兰德格拉夫;S·G·阿尔伯特;S·比塞尔特;S·普雷格尔;M·罗斯 | 申请（专利权）人： | 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01L9/12;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;张鹏 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机械传感器包括电容式的第一传感器元件和第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中第一电极的电极壁面和第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并形成电容，其中第一电极可响应于待检测的变量在与第一方向不同的第二方向上移动，并且第二电极是固定的。第一传感器元件的第一电极的电极壁面在第二方向上具有比第一传感器元件的第二电极的对置的电极壁面小的延伸。第二传感器元件的第二电极的电极壁面在第二方向上具有比第二传感器元件的第一电极的对置的电极壁面小的延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机械传感器，具有以下特征：电容式的第一传感器元件和电容式的第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中所述第一电极的电极壁面和所述第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并且形成电容，其中所述第一电极能够响应于待检测的变量在与所述第一方向不同的第二方向上移动，并且所述第二电极是固定的，其中所述第一传感器元件的第一电极的电极壁面在所述第二方向上具有比所述第一传感器元件的第二电极的对置的电极壁面更小的延伸，以及其中所述第二传感器元件的第二电极的电极壁面在所述第二方向上具有比所述第二传感器元件的第一电极的对置的电极壁面更小的延伸。
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