[发明专利]材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法在审
| 申请号： | 201811013753.0 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN110876992A | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B05B9/03 | 分类号： | B05B9/03;B05B12/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 佟婷婷 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法，材料供应装置包括：存储装置，其上设置信息存储部件，记录有存储装置中供应材料的追踪信息；相连通的缓冲装置、抽取装置及喷涂装置；信息识别部件，识别信息存储部件内的追踪信息；控制装置，获取信息存储部件的追踪信息并和目标供应材料的目标信息进行比较，判断二者是否匹配。本发明通过信息存储部件及信息识别部件的作用，获取存储装置中供应材料的追踪信息，通过控制装置获取上述追踪信息及目标供应材料的目标信息，并进行比较以判断操作人员准备的存储装置是否正确，减少操作人员误判断带来的损害，防止错误的材料应用到制备工艺中，同时防止错误的材料造成供应系统的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 供应 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
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