[实用新型]一种用于高真空镀膜机专用的扇形钨舟装夹机构有效
| 申请号： | 201821944565.5 | 申请日： | 2018-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN209522908U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 杜宝胜 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 宋翡翠 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机专用的扇形钨舟装夹机构，其结构包括防着板、导向板、第一电极、反射罩、第二电极、第一导轨固定块、导轨支柱和第二导轨固定块，防着板右侧内部通过螺栓与导向板进行螺纹连接，导向板左部中侧下部与第一电极进行水平插接，本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的扇形钨舟装夹机构，结构设计成舟型结构，把需要蒸发的材料放入舟内，通过在回路上面加载一定的电流，使材料融化，并且设置了托盘，解决现有技术薄膜致密性不佳；很多材料无法蒸镀；薄膜材料的蒸镀受到蒸发源材料熔点的限制；蒸发源材料消耗比较快；大量未被充分溶化的材料会脱落到腔体底部，造成短路的风险的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 高真空镀膜 装夹机构 导向板 专用的 钨舟 本实用新型 导轨固定块 蒸发源材料 第一电极 防着板 蒸镀 熔点 薄膜致密性 螺栓 托盘 薄膜材料 导轨支柱 第二电极 螺纹连接 短路 溶化 侧下部 反射罩 插接 放入 加载 腔体 左部 蒸发 融化 消耗 | ||
【主权项】：
1.一种用于高真空镀膜机专用的扇形钨舟装夹机构，其特征在于：包括防着板（1）、导向板（2）、第一电极（3）、反射罩（4）、第二电极（5）、第一导轨固定块（6）、导轨支柱（7）和第二导轨固定块（8），所述防着板（1）右侧内部通过螺栓与导向板（2）进行螺纹连接，所述导向板（2）左部中侧下部与第一电极（3）进行水平插接，所述导向板（2）左侧中部与反射罩（4）进行螺纹连接，所述导向板（2）左部中侧上部与第二电极（5）进行螺纹连接，所述第二电极（5）顶部通过端子外壳（9）与第一导轨固定块（6）进行螺纹连接，所述第一导轨固定块（6）右侧与导轨支柱（7）进行螺纹连接，所述第一导轨固定块（6）顶部左侧与第二导轨固定块（8）进行螺纹连接。
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