[实用新型]一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的压着机构

摘要

本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的压着机构，其结构包括电极、铜线块、电极接触块、焊接型波纹管、特氟龙套筒、法兰、波纹管外壳、第一绝缘外壳、第二绝缘外壳、导向支柱、导向板、水管、支柱、支柱固定板、气缸固定板、本体外壳、铜带连接金具、铜带和薄型气缸，电极左侧与铜线块进行螺纹连接，铜线块左侧与电极接触块进行螺纹连接，本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的压着机构，高精密往复运动波纹管实现结构的升降，特氟龙套筒对本机构进行绝缘，电极中部掏空，进行通水循环，从而带走蒸发时的热量，结构简洁明了，可以实现升降和水冷的功能。

主权项

1.一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的压着机构，其特征在于：包括电极（1）、铜线块（2）、电极接触块（3）、焊接型波纹管（4）、特氟龙套筒（5）、法兰（6）、波纹管外壳（7）、第一绝缘外壳（8）、第二绝缘外壳（9）、导向支柱（10）、导向板（11）、水管（12）、支柱（13）、支柱固定板（14）、气缸固定板（15）、本体外壳（16）、铜带连接金具（17）、铜带（18）和薄型气缸（19），所述电极（1）左侧与铜线块（2）进行螺纹连接，所述铜线块（2）左侧与电极接触块（3）进行螺纹连接，所述电极（1）中部左侧与焊接型波纹管（4）垂直进行焊接，所述焊接型波纹管（4）、右侧设置有特氟龙套筒（5），所述特氟龙套筒（5）外侧与法兰（6）进行螺纹连接，所述焊接型波纹管（4）外侧与波纹管外壳（7）进行焊接，所述波纹管外壳（7）右侧顶部设置有第一绝缘外壳（8），所述波纹管外壳（7）右侧底部设置有第二绝缘外壳（9），所述第一绝缘外壳（8）和第二绝缘外壳（9）右侧均与导向支柱（10）进行插接，所述导向支柱（10）内侧左部与导向板（11）进行插接，所述电极（1）右侧与水管（12）进行螺纹连接，所述导向板（11）右侧中部与支柱（13）进行焊接，所述支柱（13）右侧内部与支柱固定板（14）进行插接，所述导向支柱（10）右侧与气缸固定板（15）进行螺纹连接，所述气缸固定板（15）右侧与本体外壳（16）进行螺纹连接，所述本体外壳（16）内部顶侧设置有铜带连接金具（17），并且铜带连接金具（17）底部与电极（1）进行焊接，所述铜带连接金具（17）右侧与铜带（18）进行焊接，所述本体外壳（16）右侧中部设置有薄型气缸（19），并且薄型气缸（19）左侧与气缸固定板（15）进行螺纹连接。