[实用新型]一种提高AF性能的镀膜改善设备有效
| 申请号： | 201822094815.7 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN209522910U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张元胜 | 申请（专利权）人： | 深圳市悦目光学器件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/50;C23C14/52;C23C14/54;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新区大浪办事处大浪社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高AF性能的镀膜改善设备，包括真空镀膜腔体，所述真空镀膜腔体的前表面嵌入安装有延伸透明管，且真空镀膜腔体的前表面靠近延伸透明管的下方位置处嵌入安装有控制器，所述真空镀膜腔体的顶部焊接有步进电机，所述步进电机的上表面嵌入安装有轴承，所述轴承的外壁套接有传动皮带，所述传动皮带的内部设置有转动轴。本实用新型通过转动轴带动治具伞的匀速转动，使基片得以均匀受到AF药丸的化学作用，避免了基片镀膜不均的情况，通过将纯铜电极的直径延长，提高了多位钼舟的高度，使其AF药丸在蒸发时距离基片的位置更加接近，通过多位钼舟可以增加AF药丸的放置使用量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜腔 嵌入安装 药丸 本实用新型 步进电机 传动皮带 改善设备 前表面 透明管 转动轴 镀膜 多位 钼舟 轴承 化学作用 基片镀膜 内部设置 下方位置 匀速转动 控制器 上表面 电极 延伸 纯铜 套接 外壁 治具 焊接 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种提高AF性能的镀膜改善设备，包括真空镀膜腔体(1)，其特征在于，所述真空镀膜腔体(1)的前表面嵌入安装有延伸透明管(13)，且真空镀膜腔体(1)的前表面靠近延伸透明管(13)的下方位置处嵌入安装有控制器(12)，所述真空镀膜腔体(1)的一侧嵌入安装有压力表(11)，且真空镀膜腔体(1)的另一侧嵌入安装有增压阀(14)，所述真空镀膜腔体(1)的另一侧靠近增压阀(14)的下方位置处嵌入安装有放气阀(21)，且真空镀膜腔体(1)的顶部焊接有步进电机(6)，所述步进电机(6)的上表面嵌入安装有轴承(20)，所述轴承(20)的外壁套接有传动皮带(7)，所述传动皮带(7)的内部设置有转动轴(8)。
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