[发明专利]法拉第杯组件及其离子束注入角度的测量方法、装置在审
| 申请号： | 201910727088.X | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110416045A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 田成俊;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 武振华;张振军 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种法拉第杯组件，所述法拉第杯组件包括堆叠放置的前置板以及法拉第部件，所述前置板与所述法拉第部件相互平行设置且具有预设间距，所述前置板与所述法拉第部件在保持间距不变的状态下可相对平移；其中，所述前置板具有多个孔洞，每个孔洞穿通所述前置板；所述法拉第部件内具有多个法拉第杯，每个法拉第杯具有开口，多个法拉第杯的开口的朝向相同，且所述开口与所述孔洞一一对应。本发明方案可以准确地确定离子束的实际注入角度。 | ||
| 搜索关键词： | 法拉第杯 前置板 法拉第 孔洞 开口 离子束 堆叠放置 平行设置 相对平移 组件包括 预设 测量 | ||
【主权项】：
1.一种法拉第杯组件，其特征在于，所述法拉第杯组件包括堆叠放置的前置板以及法拉第部件，所述前置板与所述法拉第部件相互平行设置且具有预设间距，所述前置板与所述法拉第部件在保持间距不变的状态下可相对平移；其中，所述前置板具有多个孔洞，每个孔洞穿通所述前置板；所述法拉第部件内具有多个法拉第杯，每个法拉第杯具有开口，多个法拉第杯的开口的朝向相同，且所述开口与所述孔洞一一对应。
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- 本实用新型公开了一种离子注入机，包括离子源、气体箱、萃取系统、离子质量分析器、加速系统、电子淋浴器和硅片放置驱动装置，加速系统和电子淋浴器之间还设置有法拉第检测板；硅片放置驱动装置包括机架，机架上竖直滑动安装有升降台，升降台上固定有竖直设置的固定端盖，升降台上偏摆安装有活动盘体，活动盘体与固定端盖之间密封配合，活动盘体内可拆卸转动安装有公转盘，公转盘上圆周均布有若干个自转盘架，每个自转盘架由自转动力装置驱动，该自转盘架上设置有卡紧装置。该离子注入机更换硅片时对离子束遮挡并实时监控离子束的强度，进行下一次注入时可以以此强度数据为依据来指导硅片放置驱动装置动作，使离子注入更加稳定，效率也更高。
- 离子源及离子注入装置-201821310597.X
- 邸太平;洪纪伦;倪明明;吴宗祐;林宗贤 - 德淮半导体有限公司
- 2018-08-14 - 2019-04-16 - H01J37/317
- 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种离子源及离子注入装置。所述离子源，包括用于气体电离的腔室，还包括保护结构；所述保护结构覆盖于所述腔室的内壁表面，以避免所述气体与所述腔室的内壁接触。本实用新型有效避免了气体以及气体电离后产生的离子在腔室内壁上的富集，使得离子源的使用寿命得以延长，离子注入工艺的效率也得到了改善。
- 法拉第装置及离子注入设备-201821513133.9
- 唐瑞龙;倪明明;吴宗祐;林宗贤 - 德淮半导体有限公司
- 2018-09-17 - 2019-04-16 - H01J37/317
- 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种法拉第装置及离子注入设备。所述法拉第装置包括：法拉第结构，用于检测离子束的电流；第一轨道，沿水平方向延伸，且能够在与所述水平方向垂直的竖直方向上进行升降运动；所述法拉第结构与所述第一轨道连接，且能够沿所述第一轨道移动，以分别检测所述离子束沿水平方向和竖直方向的角度分布。本实用新型可以实现对入射离子束分别在水平方向上和竖直方向上分布角度的测量，简化了离子束角度测量系统的结构，减小了角度测量系统的体积。
- 等离子体注入机设备-201820880701.2
- 刘铁 - 长鑫存储技术有限公司
- 2018-06-07 - 2019-04-02 - H01J37/317
- 本实用新型提供一种等离子体注入机设备，该设备包括：预抽真空室、传送室和处理室，所述预抽真空室包括预抽真空室一；所述传送室设置于所述预抽真空室一的一侧，所述预抽真空室一与所述传送室间设有隔离阀一；所述处理室设置于所述传送室相对于所述预抽真空室一的另一侧，所述处理室包含处理室一；所述传送室与所述处理室一间设有隔离阀二；所述等离子体注入机设备还包括加气装置，至少连接于所述传送室和所述预抽真空室的任一者。本实用新型通过对设备的改进，节省了工艺时间，可以提高机台产能约30％。
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