[发明专利]双轴阵列反射式MEMS芯片及照明系统在审

专利信息
申请号: 201911006037.4 申请日: 2019-10-22
公开(公告)号: CN112698540A 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 郭田忠;戈斌;朱明华 申请(专利权)人: 华域视觉科技(上海)有限公司
主分类号: G03B21/00 分类号: G03B21/00;G03B21/20;G02B26/08
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 李双娇
地址: 201821 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及智能照明技术领域,尤其涉及一种双轴阵列反射式MEMS芯片及一种包括该双轴阵列反射式MEMS芯片的照明系统。该双轴阵列反射式MEMS芯片包括多个呈阵列式分布的MEMS微镜和多个MEMS微镜驱动电路,MEMS微镜对投射光线进行反射,多个MEMS微镜驱动电路与多个MEMS微镜一一对应地相连接并驱动每个MEMS微镜单独绕MEMS微镜与投射光线相垂直的横向轴或纵向轴转动。每个MEMS微镜均可在相应MEMS微镜驱动电路的驱动下实现双轴转动,由此可改变各个MEMS微镜的镜面方向,由光源发出的光线投射在MEMS微镜阵列上并经MEMS微镜阵列反射后射出,形成照明光型,通过改变各个MEMS微镜的镜面方向,即可改变照明光型的上下高度或左右位置,从而实现上下调光和左右调光功能。
搜索关键词: 阵列 反射 mems 芯片 照明 系统
【主权项】:
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