[发明专利]一种湿度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911230224.0 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111122656A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 肖韩;於广军 | 申请（专利权）人： | 浙江省北大信息技术高等研究院;杭州未名信科科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N27/22;C23C14/18;C23C14/22;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/56;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种湿度传感器及其制备方法，所述传感器从下到上依次包括：衬底，空腔，介质层，金属层，至少一层钝化层和敏感层。在所述衬底上设置所述空腔，所述空腔在所述衬底背面设置，或在衬底正面设置。在所述介质层上设置所述金属层，所述金属层包含加热电阻单元、检测电极单元以及压焊块单元。在所述金属层上设置所述第一钝化层，所述第一钝化层为氧化硅、氮化硅或其复合层；通过光刻刻蚀工艺，去除所述检测电极单元上的钝化层。在第一钝化层上设置第二钝化层；通过光刻刻蚀工艺，去除压焊块单元上的所述第一钝化层和第二钝化层。本发明的优点在于：可以去除湿度传感器表面的凝结水，提高传感器的恶劣工况下的可靠性；加热单元功耗低，加热效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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