[发明专利]一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉末的制备方法有效
申请号: | 202011336758.4 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN112517917B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | B22F9/08 | 分类号: | B22F9/08;B22F1/14;B22F1/065;C23C14/34;C22C14/00;C22C30/00 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 李伟 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉的制备方法,通过气雾化方法制备,包括:按一定量比称取Cr粉(纯度99.99%)、Ti粉(纯度99.95%)、La粉(纯度99.9%);将混合粉放入中频真空感应炉中,在氩气气氛下进行多次熔炼,得到均匀化的CrTiLa合金液;将CrTiLa合金液导入高温气雾化炉,合金液流入雾化室进行气雾化分散,冷却后得到合金粉末;最后将CrTiLa合金粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后,得到最终合金粉末。通过本发明专利方案制的合金粉末,粒径细小,平均粒径能达2~30μm,该粉合金粉成分均匀、杂质少、流动性好,满足磁记录介质靶材制备用粉体要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 铬钛靶材 crtila 合金 粉末 制备 方法 | ||
【主权项】:
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