[发明专利]用于对样本进行成像和消融的系统和方法在审

专利信息
申请号: 202080081647.5 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN114729893A 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: A·马卡洛夫;M·沃德;R·道姆 申请(专利权)人: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司;生命科技股份有限公司;FEI德国有限公司
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64;G01N21/71;G01N35/00;C12Q1/686;C12Q1/6872;H01J49/04;H01J49/16
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 周全
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本文公开了用于对样本进行成像和消融的系统。成像/消融装置(110)包括光学组件(112)、样本台(114)和接收器(116)。所述光学组件(112)设置在所述样本台(114)下方的倒置位置,并且所述接收器(116)位于所述样本台(112)上方。所述光学组件能够对设置在所述样本台(114)上的样本进行成像。所述光学组件(112)还能够消融所述样本内的相关区域。在消融期间从所述光学组件传播的激光大体上在与消融羽流(20)朝向所述接收器(116)的行进方向相同的方向上传播。
搜索关键词: 用于 样本 进行 成像 消融 系统 方法
【主权项】:
暂无信息
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