[发明专利]液处理方法和液处理装置在审
| 申请号： | 202111394120.0 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114570556A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 宫窪祐允;高桥哲平 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B12/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供液处理方法和液处理装置，能够抑制由从基片甩落的涂敷液导致的棉絮状块的产生。液处理方法包括：将涂敷液供给到基片的正面的步骤；和使上述涂敷液在上述基片的正面上扩散，在该正面上形成涂敷膜的步骤，在上述形成涂敷膜的步骤中，从上述涂敷液到达上述基片的正面的周缘部前起，开始从溶剂供给部向上述周缘部连续供给上述涂敷液的溶剂，并至少持续至上述形成涂敷膜的步骤结束。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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