[发明专利]透射电镜样品台倾转结构有效
| 申请号： | 202111395359.X | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114203504B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李海鑫;段占京;程康 | 申请（专利权）人： | 百实创(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;G01N23/04;G01N23/20025 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谭云 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种透射电镜样品台倾转结构，该结构包括框架以及框架内的驱动轴、连杆机构、弹性复位件、中空管和样品台，通过在框架的第一转轴上设置连杆机构，在框架的第二转轴上设置样品台，连杆机构的一端与驱动轴连接，另一端与样品台搭接，并将驱动轴设于框架的中空管内，驱动轴移动通过连接机构带动样品台倾转，实现样品台的倾转角度控制；连杆机构对样品台施加旋转力的同时，弹性复位件对样品台施加反向力，减小间隙配合的误差，提高样品台倾转稳定性，有效提高了对样品台绕轴倾转的精度控制。该样品台倾转结构加工、装配简单，结构紧凑，可实现透射电镜样品台倾转角度的精准控制，进而有利于实现高质量的原位观察。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 样品 台倾转 结构 | ||
【主权项】：
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