[发明专利]使用沟道化的原位角度测量在审
| 申请号： | 202180024726.7 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN115335954A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 法兰克·辛克莱;乔纳森·吉罗德·英格兰;约瑟·C·欧尔森 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/08;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 贺财俊;黄健 |
| 地址： | 美国加州圣塔克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种能够测量离子束(特别是包括较重离子的离子束)的入射角度的系统及方法。在一个实施例中，使用X射线而不是离子来确定沟道化方向。在另一实施例中，工件至少部分由具有高分子量的材料构造而成，使得可测量较重离子束。此外，在另一实施例中，在整个束上测量离子束的参数，从而使得离子植入系统的组件能够被进一步调整以形成更均匀的束。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 沟道 原位 角度 测量 | ||
【主权项】：
暂无信息
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