[发明专利]一种磷化铟衬底片定位磨边装置及方法有效
| 申请号： | 202210321372.9 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114683126B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 周锐;刘桂勇;刘兴达;柯尊斌;王卿伟 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/20;B24B49/12;B24B51/00;B24B55/06;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211299 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磷化铟衬底片定位磨边装置及方法，定位磨边装置，包括操作台和plc控制柜，操作台上设有卡塞卡槽、第一抓取装置、定位装置、平边探测装置、第二抓取装置、磨边装置、第三抓取装置、清洗装置、第四抓取装置和存储装置。本发明利用机械手臂工作原理替代人工操作运转，降低了劳动强度，提高了磨边过程的稳定性，提高了衬底片加工效率，提高了产品的一致性及稳定性；操作简单，只需安装晶片卡塞，自动中心定位台可快速中心定位晶片，红外探头可对OF平边精准定位，多磨边工位可同时磨边多片；磨边结束后具备清洗及干燥功能，减去人员采用手动清洗及擦拭的步骤，使得晶片上不容易产生水渍，提升了产品品质；装置简单、紧凑，占地小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 衬底 定位 磨边 装置 方法 | ||
【主权项】：
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