[发明专利]功率半导体器件、功率模块、车辆及制备方法在审

专利信息
申请号: 202210335732.0 申请日: 2022-03-30
公开(公告)号: CN116936572A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 马建威;吴海平;秦博 申请(专利权)人: 比亚迪半导体股份有限公司
主分类号: H01L27/06 分类号: H01L27/06;H01L29/861;H01L21/8249
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 苏培华
地址: 518116 广东省*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 本申请实施例提供了一种功率半导体器件、功率模块、车辆及制备方法。包括:基底层具有正面,正面上设置有多个沟槽,沟槽中设置有绝缘介质层,绝缘介质层上设置有导电导体,且导电导体填充沟槽;基底层的子面对应的位置处设置有第一类型层,且第一类型层位于基底层中;子面具有第一注入区域以及第二注入区域,第一注入区域以及第二注入区域对应的位置处均设置有第二类型层,第二类型层位于基底层中;正面上设置有介质层,介质层上设置有第一开口以及第二开口,第一开口与第一注入区域位置相对,且第一注入区域设置有第三开口,第三开口与第一开口连通,第二开口与第二注入区域位置相对,第二注入区域对应的位置处设置有第三类型层。
搜索关键词: 功率 半导体器件 模块 车辆 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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