[发明专利]一种MPCVD装置生长台的升降控制系统在审

专利信息
申请号: 202210669027.4 申请日: 2022-06-14
公开(公告)号: CN115044890A 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 蒋梅荣;龚闯;满卫东;蒋剑宏;杨武 申请(专利权)人: 上海征世科技股份有限公司
主分类号: C23C16/511 分类号: C23C16/511;C23C16/52
代理公司: 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 代理人: 梁剑
地址: 201799 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种MPCVD装置生长台的升降控制系统,包括装置底座,所述装置底座的顶部固定安装有装置外壳,所述装置外壳的内部安装有生长台,所述装置底座的顶部开凿有安装槽。本发明中通过螺纹丝杆与安装槽的内部两侧转动连接,且螺纹丝杆穿过安装槽并与从动轴固定连接,方便使转动轴带动从动轴进行转动从而带动螺纹丝杆转动,同时螺纹丝杆为两段螺纹相反的螺纹杆组合而成,可以使两个生长台在水平方向上向反方向移动,方便拿取并且进行观察,同时第二升降杆的底端与移动座的内部底侧转动连接,且所述电动伸缩杆的底端与移动座的内部底侧转动连接,方便对生长台进行升降控制。
搜索关键词: 一种 mpcvd 装置 生长 升降 控制系统
【主权项】:
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