[发明专利]用于离子源的换靶装置及离子源在审
| 申请号： | 202210813340.0 | 申请日： | 2022-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN115172137A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李康宁;游曲波;包轶文;何明;赵庆章;胡畔;张文慧;邵斌;阚朝新;胡跃明 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/16 |
| 代理公司： | 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493 | 代理人： | 段婉秋 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供一种用于离子源的换靶装置及离子源。所述换靶装置包括：靶盘，所述靶盘沿周向设有多个靶位；带轮、连接轴，所述带轮通过所述连接轴与所述靶盘连接；同步带，与所述带轮配合；电机，设置为驱动所述同步带运动，进而使得所述带轮带动所述靶盘旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子源 装置 | ||
【主权项】：
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