[实用新型]一种二维材料纳米结构阵列加工的装置有效
| 申请号： | 202222358593.1 | 申请日： | 2022-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN218620343U | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 何洋;章亮炽;胡佳浩 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 秦胜军 |
| 地址： | 518055 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种二维材料纳米结构阵列加工的装置，其中，包括加工室、充气结构、支架、第一位移工作台、第二位移工作台、模板和电场组件，充气结构与加工室连通，用于输入气体反应介质；支架设于加工室内，支架上形成有相互垂直的水平支撑台面和竖直支撑台面；第一位移工作台设置在水平支撑台面上，用于承载二维材料样品；第二位移工作台设置在竖直支撑台面上；模板设于第二位移工作台上朝向二维材料样品的一侧，用于转印纳米结构阵列至二维材料样品上；模板上设有凸起结构，凸起结构用于诱导二维材料样品的表面氧化；电场组件一端与第一位移工作台连接，另一端与模板连接，用于施加电场。本申请提高了跨尺度加工的可操作性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 材料 纳米 结构 阵列 加工 装置 | ||
【主权项】：
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