[发明专利]抗蚀剂材料及图案形成方法在审
| 申请号： | 202310061625.8 | 申请日： | 2023-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN116500861A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 畠山润;福岛将大 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料、以及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有：包含下式(1)表示的锍盐的酸产生剂。 |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 材料 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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