[发明专利]电容器及其制造方法、工作方法在审
| 申请号： | 202310160161.6 | 申请日： | 2023-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN116314150A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 徐瑞璋;鲁林芝;常冰岩 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H10N97/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 顾丹丽 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电容器及其制造方法、工作方法，所述电容器包括：基底；自下向上形成于所述基底上的下极板、第一介质层和上极板，所述下极板包括金属层，所述上极板包括N型掺杂多晶硅层；或者，所述下极板包括N型掺杂多晶硅层，所述上极板包括金属层；或者，所述下极板和所述上极板均包括N型掺杂多晶硅层。本发明的技术方案使得电容器具有可变的多种电容值的同时，还能避免增加工艺的复杂性、提升成本以及造成芯片面积的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 及其 制造 方法 工作 | ||
【主权项】：
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