[发明专利]一种太赫兹材料离子辐照系统在审
申请号: | 202310175837.9 | 申请日: | 2023-02-28 |
公开(公告)号: | CN116168873A | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 王宗爽;顾闫悦;徐舒 | 申请(专利权)人: | 中国环境科学研究院 |
主分类号: | G21K5/04 | 分类号: | G21K5/04;G21K5/10;G01T3/00 |
代理公司: | 北京冠榆知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11666 | 代理人: | 朱亚琦 |
地址: | 100012 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种太赫兹材料离子辐照系统,包括测试腔室和样品板,所述测试腔室的侧壁上设有真空抽气装置,所述测试腔室的顶部设有控温装置。本发明通过设置的延伸槽和保护板,能够在传动圆盘进行转动的过程中将使得两个铝箔阻止片移动到离子能量的路径上,对其进行离子能量的梯度衰减,并且在对应的铝箔阻止片使用后会在复位弹簧的作用下收缩进入到延伸槽内部,以此来防止散射的离子束对铝箔阻止片造成影响,并且通过设置的滑动框,能够将样品设置在滑动框上,并且在第一驱动轴进行转动地过程中带动对应的样品进行移动,以此样品上能够得到整合后的对应的数据,由此能够减少对样品检测的次数,能够方便操作人员对得到的数据进行整理,提高了试验效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 赫兹 材料 离子 辐照 系统 | ||
【主权项】:
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