[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310206979.7 | 申请日： | 2023-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN116191199A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 金涛;张鹏飞;郑晨;易聪阳秦;饶志龙 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/062 | 分类号： | H01S5/062;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 李彩玲 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器及其制备方法。垂直腔面发射激光器包括：衬底；第一反射层；有源区；第二反射层；氧化层包括氧化孔径；支撑层包括通孔，通孔在衬底上的垂直投影覆盖氧化孔径在衬底上的垂直投影；微型电机结构，位于支撑层远离第二反射层的一侧，微型电机结构包括光栅结构和应变梁结构；光栅结构通过应变梁结构悬空于第二反射层远离有源区的一侧；光栅结构在衬底上的垂直投影，与氧化孔径在衬底上的垂直投影有交叠；当微型电机结构通电时，应变梁结构带动光栅结构在平行于第一表面的平面上旋转。本发明可以实现垂直腔面发射激光器的出光偏振态的可调制性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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