[发明专利]一种带有偏压引线的样品台组件及MPCVD系统

摘要

本发明提供了一种带有偏压引线的样品台组件及MPCVD系统，属于微波等离子体技术领域。上述带有偏压引线的样品台组件包括台板、底座、基片台及支撑筒；台板与底座连接，基片台设置在台板上，并与台板绝缘连接，支撑筒的端部与底座连接。台板内部设置有引出线通道，底座内部设置有引入线通道，引出线通道内设置有偏压引出线，引入线通道与支撑筒连通，引入线通道及支撑筒内设置有偏压引入线；偏压引出线与台板绝缘设置，偏压引出线与底座及支撑筒绝缘设置。偏压引出线的一端与偏压引入线电连接，另一端与基片台电连接。由于偏压引入线及偏压引出线均为隐藏式设计，其大大降低了偏压线对腔体内电场的影响，从而为MPCVD系统的高效镀膜提供了保障。