[发明专利]一种在直拉法拉制晶棒的过程中使用的导流筒及拉晶炉在审
申请号: | 202310611770.9 | 申请日: | 2023-05-26 |
公开(公告)号: | CN116716656A | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 宋少杰 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02;C30B29/06 |
代理公司: | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人: | 宋东阳;姚勇政 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明实施例公开了一种在直拉法拉制晶棒的过程中使用的导流筒及拉晶炉,所述导流筒的底部具有凹口,所述凹口用于通过所述导流筒绕自身的纵向轴线转动使在基准径向上流经熔体的液面的保护性气体的流量发生变化。能够通过该导流筒绕自身的纵向轴线转动来对拉制出的晶棒中的氧浓度进行控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 法拉 制晶棒 过程 使用 导流 拉晶炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
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