[发明专利]一种响应度可调谐的石墨烯/4H-SiC紫外探测器及制备

摘要

一种响应度可调谐的石墨烯/4H‑SiC紫外探测器及制备，包括从下到上的4H‑SiC衬底、石墨烯层以及金属电极；石墨烯层呈叉指结构，叉指结构的两端上表面设有金属电极；不经过氢气处理使石墨烯与SiC产生界面态陷阱在阻挡从石墨烯到SiC的漏电流同时调控在不同偏压下器件的响应峰值，SiC沟槽增强石墨烯叉指边缘的电场同时阻挡漏电流的传输，紫外光照射探测器时，SiC中的光生载流子在叉指边缘增强电场的作用下通过具有不同能级的界面态转移到石墨烯，转移数量由偏压调控，使器件达到响应可调谐。适用于MSM结构的石墨烯/SiC光电探测器，能更好地实现二维材料与宽禁带半导体结合的紫外探测器的响应可调谐，并降低漏电流。