[发明专利]一种绝缘栅双极晶体管生产控制系统及方法有效
| 申请号： | 202310714144.2 | 申请日： | 2023-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN116453982B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 袁磊;王凯锋;邱道权;娄煜东 | 申请（专利权）人： | 合肥中恒微半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66;H01L21/331 |
| 代理公司： | 合肥铭辉知识产权代理事务所(普通合伙) 34212 | 代理人： | 黄钦花 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种绝缘栅双极晶体管生产控制系统及方法，涉及生产控制领域，包括信息管理平台，生产监测模块、流速调节模块、晶体管测试模块、产品参数检测模块；该绝缘栅双极晶体管生产控制系统及方法，通过流速调节模块调节多个模块之间流程的运动速度，这样设置可以实现根据对应模块的反应时间，通过流速调节模块调节对应时间，避免由于晶体管在对应模块下时间过长造成晶体管生产速度减缓，同时可以避免由于晶体管在对应模块下时间过短造成对应模块工作时间不足，同时通过模拟电路输入模块输入与生产晶体管使用电路环境相同的模拟电路，这样设置可以还原晶体管在使用过程中晶体管工作环境，增加产品寿命预测模块的预测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绝缘 双极晶体管 生产 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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