[发明专利]疏水承载板及其制备方法、光刻胶旋涂装置和旋涂工艺在审
| 申请号： | 202310732901.9 | 申请日： | 2023-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN116736639A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 陶佳强;李宗怿;梁新夫;潘波 | 申请（专利权）人： | 长电集成电路（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 312000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种疏水承载板及其制备方法、光刻胶旋涂装置和旋涂工艺，疏水承载板包括：承载板，所述承载板具有相对设置的正面和背面，所述承载板的背面包括适用于固定所述承载板的固定区和环绕所述固定区的疏水处理区；疏水层，位于所述疏水处理区和/或所述承载板的侧壁，且所述疏水层未覆盖所述承载板的正面，所述疏水层背离所述承载板的表面具有疏水面。所述疏水承载板的正面制备得到的光刻胶层厚度均匀性较高且避免光刻胶层爬行到承载板的背面。 | ||
| 搜索关键词： | 疏水 承载 及其 制备 方法 光刻 胶旋涂 装置 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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