[发明专利]一种适用于曲面的电子束加工载台在审
申请号: | 202310733209.8 | 申请日: | 2023-06-20 |
公开(公告)号: | CN116926474A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 李新凯;王荣;张坚明;秦启茂;戴韦豪;谭棹文;任旭隆 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 吴佳 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种适用于曲面的电子束加工载台,属于电子束加工技术领域。包括:第一运动机构、第二运动机构、多个支撑柱、印网机构、锁止机构、载台盖、撞杆、液压机构、印模板和底座,第一运动机构设置在底座上,第二运动机构设置在第一运动机构上,多个支撑柱对称设置在第二运动机构上,印网机构设置在支撑柱顶端,载台盖可拆卸地设置在印网机构顶端,锁止机构设置在印网机构内部,撞杆安装在底座上,且设置在第一运动机构和第二运动机构之间,液压机构设置在第二运动机构上,液压机构在第二运动机构上的位置位于印网机构底端中心的下方,印模板滑动设置在第二运动机构上。本发明有利于解决电子束束斑大小因工件曲率不同而改变的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 曲面 电子束 加工 | ||
【主权项】:
暂无信息
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