[发明专利]一种OLED的复合柔性衬底结构的制备方法在审
| 申请号： | 202310772827.3 | 申请日： | 2023-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN116940195A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 林啟维 | 申请（专利权）人： | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H10K77/10 | 分类号： | H10K77/10;H10K71/00;H10K59/10 |
| 代理公司： | 福州市京华专利代理事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 宋连梅 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种OLED的复合柔性衬底结构的制备方法，包括：通过喷墨印刷、丝网印刷或狭缝涂布的方法形成高分子有机衬底层；通过化学气相沉积或原子沉积的方法制备无机缓冲层；采用等离子体增强化学气相沉积法、磁控溅射沉积法、或脉冲激光沉积法方法制备类金刚石导热层。无机缓冲层，为氮化硅、氧化硅或氧化铝，可以修饰高分子有机衬底表面，为后续成膜提供平坦表面，而且无机膜较致密，可提高衬底的阻隔水氧性能类金刚石膜具有优良的导热性能，可将后续TFT制造过程中的热量横向传导至外界，避免底下的高分子有机衬底受热变形翘曲，而且类金刚石膜具有良好的阻隔水氧性能，可进一步提高衬底的阻隔水氧性能，延长器件的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 复合 柔性 衬底 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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