[发明专利]一种LED芯片及其制备方法在审
申请号: | 202310774872.2 | 申请日: | 2023-06-28 |
公开(公告)号: | CN116705954A | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 汪恒青;张星星;林潇雄;胡加辉;金从龙 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人: | 刘红伟 |
地址: | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
本发明公开了一种LED芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域,该LED芯片的制备方法包括提供一衬底,并在衬底上生长外延层;刻蚀外延层,在外延层上形成P型电极区、N型电极区、隔离槽区;通入预设反应源,以第一预设温度、第一预设压力沉积预设厚度的Al |
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搜索关键词: | 一种 led 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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