[发明专利]一种LED芯片及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310774872.2 申请日: 2023-06-28
公开(公告)号: CN116705954A 公开(公告)日: 2023-09-05
发明(设计)人: 汪恒青;张星星;林潇雄;胡加辉;金从龙 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L33/44 分类号: H01L33/44;H01L33/00
代理公司: 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 代理人: 刘红伟
地址: 330000 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种LED芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域,该LED芯片的制备方法包括提供一衬底,并在衬底上生长外延层;刻蚀外延层,在外延层上形成P型电极区、N型电极区、隔离槽区;通入预设反应源,以第一预设温度、第一预设压力沉积预设厚度的Al2O3层;在预设功率、预设波长的光照条件下,以第二预设温度进行退火处理预设时间;通过刻蚀液对P型电极区以及N型电极区上的Al2O3层分别进行刻蚀,形成P型电极凹槽和N型电极凹槽;在P型电极凹槽内沉积P型电极,在N型电极凹槽内沉积N型电极,本发明能够解决现有技术中干法刻蚀工艺微型化LED芯片的侧壁,易造成侧壁缺陷,影响器件的性能的技术问题。
搜索关键词: 一种 led 芯片 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西兆驰半导体有限公司,未经江西兆驰半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202310774872.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top