[发明专利]基于X-ray的晶圆级玻璃通孔TGV检测装置及方法在审
| 申请号： | 202310777566.4 | 申请日： | 2023-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN116499401A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 潘红日;张立;周建红 | 申请（专利权）人： | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;G01B15/04 |
| 代理公司： | 深圳市添源创鑫知识产权代理有限公司 44855 | 代理人： | 于标 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于X‑ray的晶圆级玻璃通孔TGV检测装置及方法，装置包括X‑ray防护装置，在X‑ray防护装置内从下往上依次有X‑ray发射装置、XYR轴运动机构、待检测晶圆基板、相机防护板、电动变焦镜头和相机，X‑ray防护装置内还包括用于带动所述相机上下移动的Z轴运动机构，XYR轴运动机构包括X轴、Y轴和R轴，其中X轴和Y轴的直线导轨搭接成“井”字结构，R轴由中空旋转台构成，中空旋转台上设置有载具接口，中空旋转台侧方配备有真空接口和气路接口，载具中间装有高透明玻璃板，玻璃板与待检测晶圆基板之间设置有破真空装置。本发明装置克服了传统显微检测不能检测通孔全貌的弊病。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 ray 晶圆级 玻璃 tgv 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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