[发明专利]一种大温度梯度薄膜温度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310840540.X | 申请日： | 2023-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN116929580A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 田边;樊旭;史萌;张仲恺;刘兆钧;刘江江;林启敬;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01K1/14 | 分类号： | G01K1/14;G01K1/00;G01K7/02;G01K13/00;B41M1/12;B41M1/26 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大温度梯度薄膜温度传感器及其制备方法，属于温度测量技术领域；传感器包括平面基底、设置于平面基底上若干的孔、正极热电偶薄膜、负极热电偶薄膜、冷端热电偶及金属导线；其中正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜的一端重叠作为温度敏感区，另一端作为冷端；平面基底上开设的若干孔增大了导热热阻，从而增加了温度梯度，降低了热电偶薄膜的冷端温度，进而保证冷端引线连接的可靠性并提升热电输出。另外，基于丝网印刷技术制备正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜，制备工艺简单、成本低、仪器设备要求低，经济性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度梯度 薄膜 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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