[发明专利]一种空间滤波器小孔转轮定位精度的测量方法及装置在审
| 申请号： | 202310849259.2 | 申请日： | 2023-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN116878424A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 郑胜亨;杨开栋;张鑫;王德恩;杨英;田野;刘伟;梁凌熙 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/275 | 分类号： | G01B11/275 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 侯春扬 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种空间滤波器小孔转轮定位精度的测量方法及装置，属于高功率激光驱动器技术领域，测量方法包括：在基准板上刻蚀遮光点，遮光点表示空间滤波器小孔转轮中小孔中心的理论设计位置；将基准板以及空间滤波器小孔转轮置于光路中，在探测设备上同时获取经照明的小孔像以及遮光点形成的遮光像，计算小孔像与遮光像的中心偏差，得到空间滤波器小孔转轮定位偏差，本发明采用光学共轭成像方式，同时对空间滤波器小孔转轮与基准板进行成像，通过小孔像与遮光像之间的耦合关系结合图像识别算法，可快速对小孔转盘的定位精度进行测量，操作简单，测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 滤波器 小孔 转轮 定位 精度 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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