[发明专利]金刚石电极材料沉积设备、金刚石电极材料及其制备方法

摘要

本发明属于导电金刚石电极材料制备技术领域，具体地说涉及金刚石电极材料沉积设备、金刚石电极材料及其制备方法，所述沉积设备包括滚筒和发热体，所述滚筒两端均设有开口，所述发热体位于滚筒内部并从开口伸出；所述发热体位于滚筒中轴线与滚筒内壁之间；所述滚筒的一端设有第一安装座，所述第一安装座上设有第一通孔，所述第一通孔的中心位于滚筒的中轴线上。管状或棒状电极基体穿过第一通孔固定于滚筒内腔中，粒子电极基体铺设于滚筒的内壁上，从而实现对管状或棒状电极基体和粒子电极基体同时沉积BDD膜层，随着滚筒转动，能够使管状或棒状电极基体和粒子电极基体表面BDD膜层沉积均匀。